截至8月27日收盘，光刻机概念上涨4.37%，在各类概念板块中位居第四。板块内共有50只个股录得上涨，赛微电子涨停20%，同飞股份、炬光科技、强瑞技术等涨幅靠前，分别上涨11.13%、11.07%和9.48%；跌幅较大的有捷众科技和东方嘉盛，分别下跌1.76%和1.33%。

当天表现较好的其他概念还包括：国家大基金持股上涨4.63%、存储芯片上涨4.55%、共封装光学(CPO)上涨4.47%、先进封装上涨4.29%、PCB概念上涨4.14%等。

资金面上，光刻机板块获得主力资金净流入32.04亿元，32只个股录得主力资金净流入，其中有10只个股单日净流入超过1亿元。单只净流入排名前列的是芯碁微装（688630），主力资金净流入约5.38亿元；其次为赛微电子（300456）约5.26亿元、泰晶科技（603738）约4.00亿元、大族激光（002008）约2.94亿元。

按主力资金净流入率看，赛微电子、芯碁微装和泰晶科技位列前茅，净流入率分别约为18.31%、15.27%和14.50%。

部分主力资金流入较多的个股情况如下： - 688630 芯碁微装：涨1.86%，换手6.21%，主力净流入53824.23万元，净流入率15.27%； - 300456 赛微电子：涨20.01%，换手13.72%，主力净流入52598.11万元，净流入率18.31%； - 603738 泰晶科技：涨8.45%，换手17.32%，主力净流入39974.66万元，净流入率14.50%； - 002008 大族激光：涨5.04%，换手3.77%，主力净流入29434.37万元，净流入率9.18%； - 600353 旭光电子：涨7.79%，换手10.74%，主力净流入22171.59万元，净流入率6.96%； - 688167 炬光科技：涨11.07%，换手8.35%，主力净流入18044.30万元，净流入率5.81%； - 688195 腾景科技：涨3.78%，换手5.98%，主力净流入15025.17万元，净流入率7.96%； - 688146 中船特气：涨6.77%，换手10.77%，主力净流入14347.70万元，净流入率3.64%； - 603773 沃格光电：涨5.51%，换手8.93%，主力净流入12013.26万元，净流入率6.19%； - 300666 江丰电子：涨5.22%，换手6.05%，主力净流入11529.65万元，净流入率3.54%。

整体来看，当日业内资金偏向流入，推动板块普遍上扬，但个股间分化仍较明显。